과기정통부, DB하이텍과 750억원 규모 중고장비 이전 협약

‘모아팹 중고장비’ 활용 사업 본격

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국내 반도체 산업 현장과 공공 기반 시설 간 기술 격차를 축소하고 연구 생태계를 다지기 위해 민관이 손을 맞잡았다.

과학기술정보통신부는 6일 충북 음성군 DB하이텍 상우캠퍼스에서 ‘DB하이텍-모아팹 중고장비 이전 협약식’을 진행했다.

이번 행사는 지난해 3월 과기정통부와 주요 반도체 기업들이 맺은 업무협약을 바탕으로 마련된 후속 조치다. DB하이텍은 자사가 보유한 유휴 중고 장비를 공공나노팹에 무상으로 제공하한다.

과기정통부에 따르면 인공지능과 첨단바이오, 양자 등 미래 핵심 기술의 토대가 되는 나노·반도체 분야는 실증을 담당하는 공공나노팹 역할이 중요하다. 다만 산업계의 빠른 발전 속도와 비교해 공공나노팹이 갖춘 장비 노후화가 심각해 연구개발 및 기업 지원에 어려움이 지적돼 왔다.

이에 과기정통부는 전국 공공나노팹을 하나로 연결하는 ‘모아팹(MoaFab)’ 플랫폼을 구축했다. 기업 유휴 장비를 공공 시설로 이전하는 민·관 협력 체계를 마련했다.

올해부터 2033년까지 총 750억원 규모로 추진하는 모아팹 중고장비 활용 지원사업을 통해 장비 이전과 구축 비용을 지원할 예정이다.

이번 협약으로 DB하이텍이 이전하는 첨단 중고 장비는 나노종합기술원과 나노융합기술원에 각각 설치해 핵심 공정 연구와 기술 실증에 쓰인다.

나노종합기술원이 인수하는 8인치 고온 열처리 증착장비(LPCVD Horizontal Furnace)는 8인치 자동화 공정을 지원하며 초소형 정밀 부품과 다양한 센서의 구조막을 얇고 고르게 입히는 데 활용한다.

20년 이상 된 기존 노후 장비를 대체함으로써 작업 환경의 안전을 확보하고 1회 가동 시 처리량을 기존 25개에서 50개로 두 배 늘릴 수 있을 것으로 기대한다.

나노융합기술원이 도입하는 8인치 건식 식각 및 표면 코팅 장비(HF Etcher & FDTS coating)는 차세대 피지컬 인공지능용 미세 센서 부품의 하부 받침막을 가스로 깎아 띄우고, 부품 간 붙음 현상을 막는 방수 보호막을 입히는 장비다.

기존 방식보다 초미세·초박막 부품을 손상 없이 깔끔하게 분리할 수 있어 공정 단계를 줄이고 품질과 완성도를 크게 높일 수 있다.

구혁채 과기정통부 제1차관은 “앞으로 중고 장비 활용 지원사업을 차질 없이 추진해 공공나노팹 연구지원 기반을 대폭 고도화하고, 연구계와 산업계가 체감할 수 있는 첨단 반도체·나노 기술 혁신과 전문인력양성을 적극 뒷받침하겠다”고 말했다.