반도체 핵심부품 국산화 속도…세라믹기술원, 400억원 테스트베드 구축

한국세라믹기술원 CI. ⓒ한국세라믹기술원

반도체 장비 핵심 부품의 국산화와 상용화 지원을 위한 제조·검증 인프라가 경북 구미에 구축된다.

한국세라믹기술원은 산업통상부가 주관한 ‘반도체 장비 챔버용 소재·부품 제조 및 검증 테스트베드 구축’ 공모사업에 최종 선정됐다고 4일 밝혔다.

이번 사업은 구미 반도체 특화단지에 반도체 장비 부품을 제작하고 성능을 검증할 수 있는 인프라를 조성하는 프로젝트다. 2026년부터 2030년까지 5년간 총 400억원이 투입된다.

반도체 챔버는 웨이퍼가 실제 공정을 수행하는 핵심 공간이다. 고온과 극저온, 플라스마, 화학반응 등 극한 환경에 노출되는 만큼 내부 소재와 부품의 성능이 공정 수율과 장비 가동률에 직접적인 영향을 미친다.

세라믹기술원은 이번 사업을 통해 반도체 챔버의 3대 핵심 부품 국산화에 집중할 계획이다. 대상은 웨이퍼를 고정하는 ‘정전척(ESC)’, 플라스마 에너지를 집중시키는 ‘포커스 링’, 챔버 내부를 보호하는 ‘고기능성 챔버 라이너’다.

구미에는 연면적 3000㎡ 규모의 기술지원센터와 클린룸이 조성된다. 원료 배합부터 시제품 제작, 시험·평가, 검증 데이터 확보까지 전 과정을 지원하는 원스톱 체계도 구축된다.

테스트베드에서 생산되는 공인 검증 데이터는 국내 소부장 기업이 수요기업과 글로벌 장비사에 기술력을 입증하는 자료로 활용될 예정이다. 이를 통해 제품 상용화 기간 단축과 양산 대응력 향상, 글로벌 공급망 진입 확대가 기대된다.

이번 사업은 세라믹기술원과 경상북도, 구미시가 공동으로 추진한다. 한국산업기술시험원(KTL), 한국반도체산업협회(KSIA), 구미전자정보기술원(GERI)도 참여해 부품 개발과 시험·평가, 수요기업 연계 등을 지원할 계획이다.

윤종석 세라믹기술원장은 “이번 사업은 반도체 챔버 핵심 소재·부품의 해외 의존도를 낮추고 국내 기업의 기술 자립과 글로벌 공급망 진입을 지원하는 중요한 기반이 될 것”이라며 “세라믹 소재·공정 전문성을 바탕으로 남부권 반도체 소부장 제조·검증 거점으로 자리매김할 수 있도록 적극 지원하겠다”고 말했다.