KTL, 반도체용 초순수 생산기술 국산화에 앞장

중부발전 등과 함께 핵심설비 3종 협업

한국산업기술시험원(KTL)은 지난 7일 한국중부발전 보령발전본부 대회의실에서 한국중부발전, 한국과학기술원(KAIST), 한국물기술인증원과 함께 '고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 업무협약'을 체결했다. 왼쪽부터 김효전 KAIST 건설 및 환경공학과 박사, 고영환 KTL 고영환 환경기술본부장, 임승관 한국중부발전 보령발전본부장, 안성환 한국물기술인증원 기술연구실 부장.ⓒKTL

한국산업기술시험원(KTL)이 반도체 생산공정에 사용하는 초순수 생산설비에 대한 성능평가법을 마련해 국가 핵심 산업 경쟁력 제고와 해외기술 의존도 경감에 앞장서 나가기로 했다.

KTL은 지난 7일 한국중부발전 보령발전본부 대회의실에서 한국중부발전, 한국과학기술원(KAIST), 한국물기술인증원과 함께 '고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 업무협약'을 체결했다고 8일 밝혔다.

초순수는 반도체 표면에서 각종 부산물, 오염물 등을 세척하는 데 사용하는 불순물이 거의 없는 공업용수로 최고 난이도의 수(水)처리 기술이 필요하기 때문에 해외기술 의존도가 높다.

환경부와 한국한경산업기술원은 반도체 품질과 직결되는 핵심소재인 반도체용 초순수 생산기술의 국산화를 추진해 선진국이 주도하고 있는 초순수 시장에 국내기업이 진출할 수 있는 발판 마련에 힘쓰고 있다.

이번 업무협약을 통해 ▲초저농도 용존산소 제거용 탈기막(MDG) ▲초저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치(UV-TOC) ▲초저농도 이온물질 제거용 이온교환수지(MBP) 등 초순수 공정 전반에 걸친 국산화 소재 및 기자재 연구를 함께 수행한다.

KTL은 초순수 국산화 장비를 거쳐서 나온 용수에 대한 품질과 장비 성능에 대한 시험평가법 개발 및 표준 마련을 추진한다.

또 KAIST는 수(水)처리 과정에서 배관 등 기자재에서 발생할 수 있는 용출에 대한 성능평가법 개발과 표준 마련을 추진한다.

중부발전은 성능평가 시설 구축과 공업용수 일일평균 2400톤 규모를 제공하는 등 초순수 생산기술의 성능을 검증할 수 있는 여건을 제공한다.

이와 함께 한국물기술인증원은 용수·용출 성능평가법을 기반한 성능 인증제를 마련한다.

이를 통해 일본, 미국, 프랑스 등 일부 선진국에만 의존하던 초순수 생산기술의 자립화로 수출규제 및 글로벌 공급망 변화에 대한 대응력이 한 층 강화될 것으로 기대된다.

고영환 KTL 환경기술본부장은 "국가 핵심기술인 반도체 공정용 초순수 개발은 반도체 기반산업 구축의 초석"이라며 "초순수용 설비 성능평가법 표준화 및 국산과 외산의 비교 성능시험을 통해 우리나라 기술이 국내뿐만 아니라 세계에서도 경쟁할 수 있도록 최선의 노력을 다하겠다"고 밝혔다.