환경부, 반도체 세척용 ‘초순수’ 국산화 추진

2025년까지 5개 세부과제 기술개발

삼성전자 직원들이 클린룸 반도체 생산라인 사이를 걸어가고 있는 모습.(자료사진) ⓒ삼성전자

환경부는 14일 한국수자원공사, 한국환경산업기술원과 함께 반도체 사업 필수원료인 초순수 (Ultra Pure Water) 생산기술 국산화 작업을 본격 추진한다고 밝혔다.

환경부에 따르면 초순수는 수백 개 반도체 생산 공정 가운데 나오는 부산물과 오염물을 씻어낼 때 쓰는 공업용수다. 초미세회로(nano meter)로 구성된 반도체를 세척해야 하므로 총유기탄소량(TOC) 농도가 10억분의 1ppb 이하여야 한다.

우리나라는 그동안 반도체 사용 용수의 약 50%를 차지하는 초순수를 해외업체에 의존해 왔다. 특히 공정설계와 초순수 배관, 수처리 약품 등에서 일본 의존도가 높아 외부환경에 취약한 상황이다.

이에 환경부는 2019년 일본 수출규제에 맞서 고순도 공업용수를 직접 생산·공급하는 기술개발을 추진해 왔다.

올해부터는 고순도 공업용수 생산을 위한 핵심부품인 자외선 산화장치(UV)와 용존산소 제고용 탈기막 국산화 개발에 착수했다.

환경부와 함께 한국수자원공사는 2025년까지 하루 2400t의 초순수를 생산하는 설비를 반도체 공급업체에 설치할 계획이다. 초순수 생산시설이 완공되면 반도체 설계·시공·운영 단계별로 쓰이는 초순수의 60%를 국산화할 수 있을 것으로 기대를 모으고 있다.

이 밖에도 한국수자원공사 등 공공기관과 업계가 2025년까지 ▲초 저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치 ▲초 저농도 용존산소 제거용 탈기막 ▲고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 ▲고순도 공업용수 공정 및 수질 성능평가 ▲반도체 폐수를 이용한 고순도 공업용 원수 확보 등 5개 세부과제별 기술개발을 추진한다.

김동진 환경부 수자원정책관은 “고순도 공업용수는 반도체뿐만 아니라 제약·바이오·정밀화학 등 고부가가치 산업에서 수요가 점차 확대되고 있다”며 “이번 기술개발 사업이 차질없이 이행될 경우 해외 기술 의존도 탈피와 더불어 국내 수처리 업계 해외 시장 진출 기반을 마련하는 발판이 될 것”이라고 말했다.