화학물질안전원, 반도체 가스공급설비에 ‘신속 누출 탐지 기술’ 시범 설치

화학물질안전원이 초음파를 활용한 ‘신속 누출 탐지 및 차단 기술’을 반도체 가스공급설비에 시범 설치해 현장 안전성을 높인다.

환경부 소속 화학물질안전원은 6일 초음파 기반 ‘신속 누출 탐지 및 차단 기술’을 반도체 가스공급설비에 시범 적용한다고 밝혔다. 이번 시범 사업은 독성물질과 인화성물질을 다량 사용하는 반도체·디스플레이 업종의 화학사고 위험을 낮추기 위해 추진됐다.

반도체 가스공급설비는 생산 공정에 필요한 가스를 일정한 압력과 유량으로 공급하는 장치다. 기존 전기화학식 가스감지기는 흡입관을 통해 가스를 감지하는 방식이어서 감지 시간이 지연될 가능성이 있었다. 반면 초음파 기반 장비는 음파를 이용해 0.5초 이내에 가스 누출을 탐지할 수 있으며, 가스 종류와 관계없이 범용적으로 활용 가능하다.

화학물질안전원은 2023년부터 가스 누출 감지 지연 문제를 확인하고 연구를 통해 초음파 탐지 기술을 개발했으며, 2024년 국내외 특허를 출원했다. 이를 바탕으로 올해 6월 에스엠인스트루먼트와 협력해 초음파 탐지기 시제품을 개발했으며, 6일부터 SK실트론 반도체 사업장에 시범 설치를 시작한다.

이 기술을 적용할 경우 염화수소 공급설비의 피해 영향범위는 기존 517m에서 264m로 줄어들며, 누출 가스의 실내 유입을 신속히 차단해 근로자 피해를 크게 낮출 수 있을 것으로 기대된다.

화학물질안전원은 이번 시범사업의 효과를 검증한 뒤 국내 반도체·디스플레이 업계에 기술을 확대 보급하고, 국제 반도체 장비·자재 협회(SEMI) 표준에 반영될 수 있도록 협의할 계획이다.

박봉균 화학물질안전원장은 “이번 사례는 현장 위험성 평가 과정에서 문제를 발견하고 이를 해결하기 위한 기술 개발까지 이어간 점에서 의미가 크다”며 “앞으로도 현장 중심의 안전 기술 개발을 지속해 기업들의 안전한 작업환경 구축을 적극 지원하겠다”고 말했다.